吉時(shí)利(Keithley)推出新的脈沖式半導(dǎo)體器件特性測(cè)量方案 (2005-08-10)
發(fā)布時(shí)間:2007-12-04
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美國(guó)俄亥俄州克里夫蘭市近日?qǐng)?bào)導(dǎo)??吉時(shí)利 (Keithley) 儀器公司 (NYSE: KEI) 是為不斷增長(zhǎng)的測(cè)量需求提供解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者,宣布在4200型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)中新增加了脈沖信號(hào)發(fā)生和測(cè)量功能,支持脈沖式的半導(dǎo)體特性分析功能。新的PIV(脈沖I-V)子系統(tǒng),更便于進(jìn)行高介電(High-k)材料、熱敏感器件和先進(jìn)存儲(chǔ)芯片等的前沿技術(shù)研究,使其測(cè)量更加準(zhǔn)確,產(chǎn)品投入市場(chǎng)更加快速。這是第一款商用化的集成了精確、可重復(fù)的脈沖和DC測(cè)量于一體的解決方案,而且使用非常方便。
脈沖I-V (簡(jiǎn)稱PIV)子系統(tǒng)是吉時(shí)利公司Model 4200-SCS系統(tǒng)的一個(gè)新增選項(xiàng)。Model 4200-SCS系統(tǒng)適用于實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的精準(zhǔn)DC特性測(cè)量和分析,具有亞飛安級(jí)的微電流分辨率和實(shí)時(shí)繪圖、數(shù)據(jù)分析和處理能力。該系統(tǒng)集成了目前最先進(jìn)的半導(dǎo)體特性分析性能,包括一臺(tái)帶有Windows XP操作系統(tǒng)和大容量存儲(chǔ)器的嵌入式PC機(jī)。
Model 4200-SCS PIV子系統(tǒng)有著廣泛的用途。它是唯一一種適合解決高介電High-k介質(zhì)的集成電路(例如界面態(tài))和65nm及更小尺寸工藝的新器件熱特性(例如SOI和FinFET器件)的問(wèn)題的工具。其他的應(yīng)用包括電荷泵(Charge Pumping),AC stress失效機(jī)理的測(cè)試和其他的脈沖和時(shí)鐘方面的應(yīng)用。
Model 4200-SCS PIV子系統(tǒng)對(duì)于在半導(dǎo)體TD(Technology Development)、PD(Product Development)和可靠性實(shí)驗(yàn)室,以及材料和器件研究實(shí)驗(yàn)室中的工程師和管理者來(lái)說(shuō)是非常理想的選擇。包含了樣例測(cè)試方案可使學(xué)習(xí)曲線變短,從而提高生產(chǎn)能力,直觀易用的軟件使得測(cè)試和特性表征更加快速,從而提高產(chǎn)能。因而,任意一個(gè)需要在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上進(jìn)行DC和脈沖測(cè)試的半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室都將從Model 4200-SCS PIV子系統(tǒng)中受益。