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中科院成功研制出MEMS傳感器新品

發(fā)布時(shí)間:2014-03-14 作者: 來(lái)源:儀器信息網(wǎng) 瀏覽:1205

  中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室夏善紅研究員團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)十余年的深入研究,成功研制出基于MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的電場(chǎng)傳感器系列創(chuàng)新產(chǎn)品,包括地面大氣電場(chǎng)傳感器、探空大氣電場(chǎng)傳感器、三維電場(chǎng)傳感器,以及面向智能電網(wǎng)應(yīng)用的電場(chǎng)傳感器,于2013年9月通過(guò)了產(chǎn)品設(shè)計(jì)定型鑒定,已實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)和應(yīng)用。

  該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)有體積小,空間分辨率高,功耗低;無(wú)電機(jī)磨損部件,穩(wěn)定性好,可靠性高;可同時(shí)測(cè)量靜電場(chǎng)和交變電場(chǎng);可用于單點(diǎn)電場(chǎng)探測(cè)或區(qū)域多點(diǎn)無(wú)線組網(wǎng)電場(chǎng)探測(cè)。

  產(chǎn)品已在航空航天、智能電網(wǎng)、氣象等多個(gè)領(lǐng)域的二十余家單位使用,受到用戶的一致好評(píng)。

   據(jù)業(yè)內(nèi)預(yù)測(cè),隨著全球電子制造業(yè)繼續(xù)向中國(guó)轉(zhuǎn)移,預(yù)計(jì)2013年至2015年,中國(guó)MEMS市場(chǎng)將繼續(xù)保持兩位數(shù)增長(zhǎng),到2016年,中國(guó)MEMS市場(chǎng)銷(xiāo)售額預(yù)計(jì)將超過(guò)350億元。

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