日前,上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院材質(zhì)中心承擔(dān)的上海市科委標(biāo)準(zhǔn)專(zhuān)項(xiàng)《微納功能器件表面微區(qū)測(cè)量和粒度分析方法研究及其相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的制訂》(11dz0502100)通過(guò)了項(xiàng)目驗(yàn)收。
隨著我國(guó)新材料研發(fā)產(chǎn)業(yè)和先進(jìn)制造業(yè)的快速發(fā)展,納米功能器件已廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池、集成電路、LED光電材料和高性能信息存儲(chǔ)器等領(lǐng)域,微納米功能器件事業(yè)日新月異。我國(guó)在納米功能器件領(lǐng)域的研究具有一定的發(fā)展優(yōu)勢(shì)和規(guī)模,因此開(kāi)展納米器件標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法研究十分迫切。
本項(xiàng)目通過(guò)對(duì)微納功能器件測(cè)量方法研究,完成了《表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線(xiàn)光電子能譜橫向分辨率測(cè)定》和《粒度分析單顆粒的光學(xué)測(cè)量方法第2部分液體顆粒計(jì)數(shù)器光散射法》2項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的編寫(xiě),現(xiàn)正報(bào)批。如果該2項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)順利頒布實(shí)施,將為俄歇電子能譜、X射線(xiàn)光電子能譜和液體顆粒計(jì)數(shù)器等納米檢測(cè)儀器提供統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法,有效地保證各單位間測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性、可比性,能夠?qū)Λ@得更為精確的納米器件測(cè)量表征結(jié)果提供技術(shù)支持,保障我國(guó)納米功能器件等新材料產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
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