“我國現(xiàn)有的大科學(xué)裝置基本是圍繞基本粒子、宇宙探測以及由此發(fā)展的各類加速器。但面對二十一世紀(jì)科技發(fā)展的需求，圍繞納米領(lǐng)域建設(shè)大型科學(xué)研究設(shè)施，已經(jīng)成為了不能回避的問題?！痹谌涨罢匍_的以“支撐納米科技發(fā)展的大型基礎(chǔ)科學(xué)設(shè)施??現(xiàn)狀與展望”為主題的第433次香山科學(xué)會議上，與會專家就此問題達(dá)成了基本共識。

      集成電路的微小化和納米電子學(xué)的飛速發(fā)展，激發(fā)人們在新型納米材料制備、器件加工及封裝測試等領(lǐng)域展開廣泛研究，這就提出來對超常規(guī)的大型科學(xué)裝置的急切需求。據(jù)了解，目前除了常規(guī)的超凈間加工平臺外，一些國外的先進(jìn)實驗室，如美國Argonne國家實驗室嘗試性建設(shè)了一些真空互聯(lián)裝置，歐洲和日本的一些著名大學(xué)和研究所也在不斷地加入。

      雖然我國在納米材料方面展開了許多研究，并取得了許多創(chuàng)新性科研和轉(zhuǎn)化成果。然而，由于對納米器件研究的認(rèn)識與投入不足，特別是納米加工設(shè)施和納米加工技術(shù)相對落后，使得我國在這一領(lǐng)域整體的科研和應(yīng)用水平與發(fā)達(dá)國家差距拉大。因此，研制具有高端的材料生長、微納加工、器件封裝測試的強大功能真空互聯(lián)系統(tǒng)，成為了急需突破的瓶頸，具有極其重要的戰(zhàn)略意義。

      據(jù)本次會議執(zhí)行主席之一、中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所楊輝研究員介紹，目前國內(nèi)多家科研機構(gòu)正在規(guī)劃、籌建“納米真空互聯(lián)綜合實驗站”，其目標(biāo)是在未來5?10年內(nèi)，建立一個真空環(huán)境的機械和控制互聯(lián)系統(tǒng)，實現(xiàn)無機到有機的材料制備、器件加工與封裝、以及各種極端條件下測試的綜合研究的設(shè)施，通過真空互聯(lián)解決在材料生長、器件工藝環(huán)節(jié)、測試分析以及樣品轉(zhuǎn)移中水氧等雜質(zhì)污染問題；提供本征條件下材料、器件結(jié)構(gòu)及其性能關(guān)系的尖端科學(xué)研究平臺；突破現(xiàn)有材料生長、器件工藝、測試分析的功能極限。

      納米真空互聯(lián)綜合實驗站將圍繞當(dāng)前納米科學(xué)研究領(lǐng)域三個重大關(guān)鍵問題：納米材料和納米器件的規(guī)?？煽刂苽?；納米材料與器件尺度效應(yīng)、維度效應(yīng)和界面效應(yīng)；高分辨率、多參量聯(lián)合在線測試技術(shù)等，展開科研建設(shè)。在互聯(lián)裝備中，重點解決真空獲得、樣品架的傳遞和轉(zhuǎn)移以及圖形生成等三個工程技術(shù)問題。根據(jù)平臺屬性，實驗站還將提供不同級別真空系統(tǒng)的用戶站點。

      與會專家認(rèn)為，“納米真空互聯(lián)綜合實驗站”這類大型基礎(chǔ)科學(xué)設(shè)施提供的研究平臺，將在多個領(lǐng)域起到前所未有的重要作用。例如，為了解決全球性氣候變化，國家戰(zhàn)略性能源短缺，及城市環(huán)境污染等關(guān)鍵問題，高效率能量轉(zhuǎn)換與能量存儲技術(shù)必將成為未來幾十年科學(xué)界的研究重點，而要實現(xiàn)能量轉(zhuǎn)換及存儲效率上的突破，新材料的探索及其納米尺度的結(jié)構(gòu)與界面的控制至關(guān)重要。而可以實現(xiàn)可控的材料制備，納米加工與封裝，以及在各種極端條件下的材料測試和表征的大科學(xué)裝置，將為這一領(lǐng)域研究提供無可比擬的重要平臺。