沈陽(yáng)科儀是一家具有半個(gè)世紀(jì)歷史的老企業(yè)。公司前身是中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心，2001年整體轉(zhuǎn)制為有限責(zé)任公司。經(jīng)過(guò)半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展，沈陽(yáng)科儀成為集真空儀器裝置研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)為一體的現(xiàn)代企業(yè)。    

 研發(fā)資金占收入20%

      秉承中科院的傳統(tǒng)，沈陽(yáng)科儀重視科技創(chuàng)新，擁有專(zhuān)利50余項(xiàng)，組建有“國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”。公司副總裁張振厚向《中國(guó)電子報(bào)》記者介紹，公司以高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)為基礎(chǔ)，主要研制生產(chǎn)大型表面分析儀器、薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、半導(dǎo)體材料制備設(shè)備、空間環(huán)境模擬裝置、真空冶金設(shè)備、真空獲得以及高檔真空器件。

      據(jù)張振厚介紹，幾年來(lái)，公司壓縮一切開(kāi)支，保證研發(fā)投入，年研發(fā)投入高達(dá)公司上年銷(xiāo)售收入的20%。在研發(fā)中，公司分層次重點(diǎn)部署了IC裝備整機(jī)、關(guān)鍵部件/子系統(tǒng)等技術(shù)。其中，實(shí)現(xiàn)了等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化，該設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化率高達(dá)70%，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到甚至超過(guò)國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品，已實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。在積極推進(jìn)6英寸PECVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化的同時(shí)，目前已啟動(dòng)12英寸PECVD研發(fā)，并積極組織申請(qǐng)國(guó)家“十一五”IC裝備重大專(zhuān)項(xiàng)。在子系統(tǒng)方面，公司承擔(dān)了國(guó)家“十五”期間的“863”重大專(zhuān)項(xiàng)子課題“羅茨干泵(機(jī)組)”項(xiàng)目，已申請(qǐng)了7項(xiàng)國(guó)家專(zhuān)利(其中4項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利)，并已獲得應(yīng)用。

      此外，公司自主研發(fā)的“渦旋干泵”產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用到各種鍍膜設(shè)備整機(jī)上，正在組織批量生產(chǎn)。“超潔凈真空閘板閥”已獲3項(xiàng)專(zhuān)利，并獲沈陽(yáng)市專(zhuān)利優(yōu)秀獎(jiǎng)。目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，銷(xiāo)售勢(shì)頭良好。

    打好IC設(shè)備“翻身仗”

      近年來(lái)，全球集成電路（IC）產(chǎn)業(yè)和集成電路裝備制造業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移，這又為沈陽(yáng)科儀的發(fā)展提供了新的機(jī)遇。張振厚告訴記者，在集成電路生產(chǎn)線上，約有70%的前道工序工藝設(shè)備依賴(lài)于高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)，這正是沈陽(yáng)科儀多年來(lái)所積累的核心技術(shù)。為此，沈陽(yáng)科儀積極建設(shè)具有國(guó)際先進(jìn)水平的集設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)、營(yíng)銷(xiāo)、服務(wù)和培訓(xùn)為一體的沈陽(yáng)集成電路裝備制造基地。

      早在2006年，沈陽(yáng)市政府宣布的“024工程”中的“2”，即形成兩個(gè)具有國(guó)際影響力的IC裝備核心企業(yè)集團(tuán)，就有沈陽(yáng)科儀。沈陽(yáng)科儀IC成膜PECVD項(xiàng)目已被列為遼寧省重大科技專(zhuān)項(xiàng)，與其他公司聯(lián)合申報(bào)的“IC裝備成膜、勻膠與傳輸系統(tǒng)”項(xiàng)目成為沈陽(yáng)市重大科技計(jì)劃項(xiàng)目之一。張振厚說(shuō)，自2004年開(kāi)始進(jìn)入IC裝備領(lǐng)域，沈陽(yáng)科儀通過(guò)開(kāi)展一系列工作，承擔(dān)各級(jí)科技計(jì)劃項(xiàng)目，逐步發(fā)展成為沈陽(yáng)地區(qū)IC裝備骨干企業(yè)。