由浙江大學(xué)承擔(dān)的“基于MEMS技術(shù)的天然氣流量計實用化研究”課題日前通過了由863計劃先進(jìn)制造與自動化領(lǐng)域MEMS專項組織的專家驗收。 該課題成功研制了精度高、流阻小、量程寬的TMF熱式流量計系列產(chǎn)品，產(chǎn)品應(yīng)用前景廣闊。在課題實施過程中，重點(diǎn)研究解決了硅膜與基體材料之間的高效絕熱薄膜層材料和加工工藝，以及傳感器表面抗腐蝕、耐磨損、低粘附性封裝材料及封裝工藝；適用于天然氣計量的熱式流量計供電模式、靜壓誤差補(bǔ)償、溫度漂移、表面粘滯效應(yīng)等關(guān)鍵技術(shù)及工藝問題；研制出熱慣性低、頻響高的芯片級傳感器和高精度、大量程、低功耗的熱式流量計產(chǎn)品。該系列產(chǎn)品已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)與試用，新增產(chǎn)值636萬元。