近日，市場(chǎng)監(jiān)管總局發(fā)布新材料與納米領(lǐng)域4項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范，分別為《激光衍射法反射光柵校準(zhǔn)規(guī)范》《錫膏厚度測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》《雷達(dá)散射截面法材料反射率測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》《煤中氟/氯測(cè)定儀校準(zhǔn)規(guī)范》，將于2022年10月29日正式實(shí)施。

隨著微納科技與微納產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，各類電子和光學(xué)顯微鏡在微納技術(shù)領(lǐng)域的保有量迅速增加。光柵間距樣板作為傳遞標(biāo)準(zhǔn)廣泛應(yīng)用于掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡以及光學(xué)顯微鏡的放大倍率的校準(zhǔn)，是各類顯微鏡測(cè)量準(zhǔn)確性的保證。因此，作為傳遞標(biāo)準(zhǔn)的光柵間距樣板的量值必須以較小的不確定度溯源至SI單位。反射光柵間距的激光衍射測(cè)量技術(shù)是一種非成像的間接測(cè)量微納間距的技術(shù)，具有儀器設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量面積大、測(cè)量速度快、平均間距測(cè)量準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)，加之測(cè)量成本低，在微納制造產(chǎn)業(yè)的在線、高速測(cè)量方面有巨大的應(yīng)用潛力?！都す庋苌浞ǚ瓷涔鈻判?zhǔn)規(guī)范》的發(fā)布與實(shí)施為用激光衍射法測(cè)量光柵間距提供了全面的、科學(xué)的、規(guī)范的法制依據(jù)和技術(shù)指導(dǎo)，為支持微納產(chǎn)業(yè)等相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展也奠定技術(shù)基礎(chǔ)。

集成電路產(chǎn)業(yè)作為智能制造的主要領(lǐng)域，是引領(lǐng)新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的關(guān)鍵力量。在集成電路生產(chǎn)制造過(guò)程中，集成電路板上錫膏的印刷質(zhì)量將直接影響芯片和電子元器件焊接的質(zhì)量，進(jìn)而影響最終產(chǎn)品的性能。錫膏厚度測(cè)量?jī)x是一種被廣泛用于檢測(cè)錫膏印刷質(zhì)量的儀器。它采用非接觸式的光學(xué)測(cè)量原理，能快速、無(wú)損地測(cè)量錫膏厚度、面積、體積等關(guān)鍵參數(shù)，對(duì)于判斷錫膏印刷質(zhì)量起到極其重要的作用。此前，由于缺乏相關(guān)的計(jì)量技術(shù)規(guī)范，錫膏厚度測(cè)量?jī)x的可靠性和準(zhǔn)確性只能依靠?jī)x器生產(chǎn)廠家提供的維護(hù)服務(wù)，儀器量值無(wú)法得到有效溯源，因此急需制定統(tǒng)一的校準(zhǔn)規(guī)范文件。在對(duì)國(guó)內(nèi)外主要錫膏厚度測(cè)量?jī)x產(chǎn)品和國(guó)內(nèi)用戶實(shí)際使用情況進(jìn)行廣泛調(diào)研的基礎(chǔ)上，通過(guò)深入研究?jī)x器技術(shù)指標(biāo)、校準(zhǔn)方法以及計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器等關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，起草制定了《錫膏厚度測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》。本規(guī)范的發(fā)布和實(shí)施，將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)錫膏厚度測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)技術(shù)依據(jù)的空白，有利于實(shí)現(xiàn)錫膏厚度測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)方法的統(tǒng)一和測(cè)量結(jié)果的溯源，保證集成電路板錫膏厚度量值的準(zhǔn)確、一致和可靠。推動(dòng)國(guó)內(nèi)集成電路相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)能力，促進(jìn)相關(guān)行業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的統(tǒng)一，助力制造強(qiáng)國(guó)戰(zhàn)略的實(shí)施。

反射率是衡量微波低散射材料性能的重要指標(biāo)，可以直觀地表達(dá)出材料對(duì)雷達(dá)信號(hào)的反射性能。通過(guò)反射率性能的考察，能實(shí)現(xiàn)材料的配比組成與結(jié)構(gòu)參數(shù)的進(jìn)一步優(yōu)化?！独走_(dá)散射截面法材料反射率測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》的發(fā)布與實(shí)施，使雷達(dá)散射截面法材料反射率測(cè)試系統(tǒng)對(duì)于材料反射率的測(cè)試準(zhǔn)確性有了溯源依據(jù)，對(duì)于保證微波低散射材料研制過(guò)程中的質(zhì)量可靠性有重要意義。

煤炭作為我國(guó)第一能源，年消耗量將約40億噸。氯和氟是煤中的有害元素，煤炭燃燒時(shí)，氯的危害主要表現(xiàn)在對(duì)鍋爐設(shè)備及管道的腐蝕和玷污堵塞。燃燒后，氟化物發(fā)生分解，以HF、SiF4等氣態(tài)污染物形式排入大氣，造成大氣氟污染和對(duì)生態(tài)環(huán)境的破壞，對(duì)人體、動(dòng)植物健康帶來(lái)嚴(yán)重危害，給農(nóng)牧業(yè)造成經(jīng)濟(jì)損失。國(guó)家頒發(fā)《商品煤質(zhì)量管理辦法》《商品煤質(zhì)量評(píng)價(jià)與控制技術(shù)指南》等文件對(duì)煤中氟氯等有害元素限值做出明確規(guī)定，煤炭氯元素含量應(yīng)不超過(guò)0.3%，氟元素含量應(yīng)不超過(guò)200μg/g。《煤中氟/氯測(cè)定儀校準(zhǔn)規(guī)范》的發(fā)布與實(shí)施為煤中氟氯測(cè)定儀提供了詳細(xì)的校準(zhǔn)方法、解決儀器量值溯源難題。該技術(shù)規(guī)范有利于指導(dǎo)煤中氟氯測(cè)定儀的生產(chǎn)，提升儀器品質(zhì)、統(tǒng)一儀器計(jì)量性能的評(píng)價(jià)。為煤炭能源清潔利用提供技術(shù)支撐，為“藍(lán)天白云”環(huán)保事業(yè)貢獻(xiàn)計(jì)量力量。