Micro-Metric公司開發(fā)的Innova光學(xué)測量系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體、光電器件和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）裝置等微小尺寸的點(diǎn)到點(diǎn)（PTP）和視場（FOV）非接觸式測量。視場測量的最小尺寸為0.5μm，測量精度可達(dá)0.010μm（10nm）；除可手動進(jìn)行單點(diǎn)測量外，還可通過編程進(jìn)行全自動逐點(diǎn)順序測量。儀器采用了移動行程為（200×200）mm（X，Y）的高精密工作臺和能進(jìn)行精密深度測量的共焦顯微鏡，并可對亮度轉(zhuǎn)換進(jìn)行亞象素級插補(bǔ)，從而可實(shí)現(xiàn)亞微米線寬的測量。通過分析被測物體的邊緣銳度，顯微鏡可在最佳焦點(diǎn)處實(shí)現(xiàn)自動聚焦定位。