橫河電機推出了用于2μm近紅外線半導體激光器的開發(fā)生產(chǎn)的光譜分析儀?？蓪?200nm～2400nm的光進行最小感光靈敏度為－70dBm的測量。產(chǎn)品名稱為“AQ6375”。2μm近紅外線半導體激光器在用于檢測空氣中的溫室氣體等微量氣體方面需求越來越大，此前該用途的激光器的開發(fā)生產(chǎn)中一般使用分光器來確認特性。該公司將光通信測量儀技術應用于長波長光的測量，實現(xiàn)了使用分光器不可能實現(xiàn)的靈敏度及分辨率的提高和檢測時間的縮短。  

　　產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)中環(huán)保措施日趨重要、必須檢測CO2等溫室效應氣體及SO2、NO2等破壞環(huán)境氣體的場合越來越多。因此，橫河電機一直在推進正確檢測空氣中微量氣體的方法??激光吸收分光法的開發(fā)。當光線入射到在空氣中時，不同的氣體分子吸收不同頻率的激光。激光吸收分光法是通過測定激光（頻率與被檢測氣體的頻率相對應）被吸收的程度來檢測氣體濃度的技術。正確的檢測必須采用在特定頻率之外沒有高強度峰值的高質量2μm頻帶的近紅外線半導體激光器。若存在不必要的峰值，就會產(chǎn)生影響精度的噪音。  

　　過去，該用途激光器的開發(fā)生產(chǎn)使用分光器，沒有多余的峰值。但是存在可測定強度的動態(tài)范圍小、測定分辨率低等問題，無法充分地對高質量激光器進行測定。例如，分光器最小感光靈敏度較低，僅為-40～-50dBm，因此檢測不出造成噪音的多余的峰值。此次的產(chǎn)品采用了用于通信用可視光激光器開發(fā)的光譜分析儀技術，實現(xiàn)了－70dBm的感光靈敏度。  

　　此外，使用分光器時的波長分辨率約為0.5nm，頻率軸的精度也不高。AQ6375先通過衍射光柵使分光后的光反射回來，再通過衍射光柵將分辨率提高到最小0.05nm。另外，在0.1μm的波長測定范圍內(nèi)，使用分光器時需要數(shù)分鐘到數(shù)十分鐘的測測量，利用新光譜分析儀在1秒以下，即使難測量的情況也能實現(xiàn)在1分鐘以內(nèi)完成測量。