ABB計劃推出傅立葉變換式紅外線分光儀－WPA，通過對藥液進(jìn)行實時監(jiān)測，不僅能夠提高最終產(chǎn)品的質(zhì)量與成品率，同時還能減少藥液的用量和廢棄量。 WPA是一種傅立葉變換式紅外線分光儀，利用光纖連接用于半導(dǎo)體制造工藝的檢測單元“ClippIR+”。在不發(fā)生污染的非接觸狀態(tài)下，最多可對8個測量點進(jìn)行管理。測量對象達(dá)30多種，包括氫氧化銨（NH4OH）、過氧水（H2O2），鹽酸（HCL）、氫氧化鉀（KOH）、氟化銨（NH4F）、氟化氫（HF）和醋酸（Acetic Acid）等。不論溶液中是什么成分，每個測量點只需51秒即可完成測量。 由于能夠?qū)⒎治鱿到y(tǒng)本身安裝在離測量點最遠(yuǎn)為100m的位置，因此能夠在沒有藥液的空氣環(huán)境中進(jìn)行管理，還可與控制系統(tǒng)結(jié)合使用。由于ClippIR+尺寸很小，因此不需改造生產(chǎn)線即可配置。而且采用了含氟樹脂加工，耐腐蝕。此外，還安裝了用于濕式工藝的管理與控制專用軟件。該軟件除顯示各測量點藥液成分、濃度和趨勢，保存數(shù)據(jù)等功能外，還具有一旦相關(guān)數(shù)據(jù)超過容許范圍就會報警的功能。