巖崎電氣日前開發(fā)出一款可直接檢測低壓水銀燈（發(fā)光波長為185nm）紫外線照度和光量的檢測儀??“185nm型鉆石紫外線監(jiān)測儀”，將于2005年9月底上市。受光元件使用光電導(dǎo)型鉆石傳感器芯片。其特點(diǎn)是具有很高的耐紫外線及耐熱性。低壓水銀燈一般用于膠片與樹脂的表面改質(zhì)、臭氧洗凈、半導(dǎo)體干式洗凈等工藝。 除上述傳感器外，還采用了藍(lán)寶石窗，因此即使接觸到強(qiáng)烈的紫外線，其靈敏度也不會下降。這種藍(lán)寶石窗還具有防止元件受污、受潮的作用。傳感器具有遮陽板特性，只能檢測140～227nm的紫外線，因此不需濾波器。 由于耐熱性高，靈敏度不會下降，因此能夠連續(xù)進(jìn)行測定?？衫米贤饩€照射光源的不間斷監(jiān)測儀，監(jiān)視水銀燈不亮、或功率不足等異常情況的發(fā)生。由于能夠管理紫外線照射量，因此還能預(yù)測出水銀燈的更換時間。