日本山武日前推出了可安裝在電子元件封裝設(shè)備等前面板上的氣體流量控制器“MPC”。能夠控制空氣、氮?dú)?、氬氣、二氧化碳的氣體流量。尺寸為48×48×73.7mm，重量300g，全球最小、最輕。結(jié)合著小型輕量設(shè)計(jì)，開(kāi)發(fā)出了電磁閥，能夠自動(dòng)進(jìn)行流量控制?？煽刂频牧髁抗灿?種，按氮?dú)猓?個(gè)大氣壓20℃）換算分別為0.5、2.0、5.0和20.0L/分鐘。采用開(kāi)放式價(jià)格，2005年度力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)1億日元（約合人民幣769萬(wàn)元）、2007年度爭(zhēng)取實(shí)現(xiàn)10億日元（約合人民幣7690萬(wàn)元）的銷(xiāo)售額。 　　過(guò)去，不同的氣體必須采用專(zhuān)用控制器。而MPC則可以切換使用4種氣體。流量最多可登記4種，最高能夠進(jìn)行8位乘積運(yùn)算。當(dāng)流量超過(guò)設(shè)定值時(shí)，就會(huì)通過(guò)警報(bào)器進(jìn)行報(bào)警。 　　配備了該公司開(kāi)發(fā)的微處理器。將測(cè)定流量所需的傳感器和加熱器類(lèi)元件進(jìn)行了一體設(shè)計(jì)，傳感器本身能夠直接測(cè)量氣體流量。響應(yīng)性為1ms，測(cè)量范圍為300:1。利用這種傳感器，可在不受壓力與溫度變化影響的情況下，以±2％FS的精度進(jìn)行測(cè)量。最快只需1s即可按照設(shè)定值進(jìn)行控制。 　　由于將管線(xiàn)連接部分和配線(xiàn)部分集中到了機(jī)身背面，因此便于在設(shè)備上進(jìn)行安裝?？墒褂妹姘迩懊娴陌存I進(jìn)行設(shè)定。除此之外，作為用戶(hù)選配項(xiàng)還可配備模擬輸入輸出功能及RS-485通信功能，并能使用這些功能進(jìn)行設(shè)定。假如使用另賣(mài)的軟件，既能對(duì)設(shè)定值進(jìn)行管理，還能收集控制流量值的趨勢(shì)數(shù)據(jù)。